
一、曝光原理
基礎(chǔ)原理:在金屬基片上均勻涂抹化學(xué)感光材料,然后將需要蝕刻的圖形通過光繪或光刻的方式復(fù)制到覆蓋在基片上的感光掩膜上進(jìn)行金屬曝光。在曝光過程中,紫外光照射掩膜,光引發(fā)劑吸收光能后發(fā)生化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致掩膜上特定區(qū)域的化學(xué)感光材料發(fā)生聚合反應(yīng),變得不溶于后續(xù)的顯影液。
曝光過程:曝光通常在全自動曝光機(jī)中進(jìn)行,根據(jù)燈源的制冷方法不同,曝光機(jī)可分為水冷和風(fēng)冷兩種。在紫外光的直射下,光引發(fā)劑吸收光能變?yōu)榉稚⒒?,分散基再引起不聚合單個(gè)開展聚合化學(xué)交聯(lián)反映,反映后產(chǎn)生不融解于堿性溶液的大分子式。曝光成像的質(zhì)量由燈源的選擇、曝光時(shí)間以及菲林(即膠片)的質(zhì)量共同決定。
二、曝光過程詳解
準(zhǔn)備階段:首先,將需蝕刻的圖形通過光繪或光刻的方式轉(zhuǎn)移至兩張完全一致的膠片菲林上,或通過其他方式(如機(jī)器對位)將菲林對準(zhǔn)。然后,將已涂布感光油墨或貼好感光干膜的金屬基片置于菲林中間,準(zhǔn)備曝光。
曝光操作:在曝光機(jī)中,紫外光照射菲林,對應(yīng)菲林黑色處的金屬基片未被感光,對應(yīng)菲林白色處的金屬基片感光。感光處的油墨或干膜發(fā)生聚合反應(yīng),形成不溶于顯影液的立體形大分子結(jié)構(gòu)。
后續(xù)處理:曝光后,經(jīng)過顯影機(jī)處理,被感光的油墨或干膜不被顯影液溶化,而未感光的油墨或干膜在顯影液中被溶化去除。這樣,需蝕刻的圖形就通過曝光和顯影過程轉(zhuǎn)移到了金屬基片上。曝光環(huán)節(jié)是蝕刻加工非常重要的環(huán)節(jié),在工藝流程中嚴(yán)格把控每一個(gè)環(huán)節(jié),才能做出高質(zhì)量的產(chǎn)品,
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